真空脫氣，是采用加熱、循環、抽真空三法合一對蒸餾水、去離子水進行脫氣。與煮沸法相比，具有安全、省時等優點。適用于藥物研究、制藥、化工等行業對蒸餾水、去離子水進行脫氣。工業上有不少制品在生產工序中往往要進行真空脫氣處理。例如，陶土制品(磚、瓦、碗、瓷器、絕緣瓷瓶等)要求在成型之前對陶泥進行真空脫氣處理。 陶瓷制品的一般生產工序如下:
陶瓷原料(長石、石英、粘土等)一粉碎一球磨(加水)一榨泥機中去水一真空煉泥(運用水環泵)一成型-烘干一鍛燒.一成品。
陶泥在壓制成毛坯之前，要進行真空脫氣處理，這就是一真空煉泥”工序。方法是將陶泥用螺旋送進機構送往真空箱，箱里用水環真空泵抽成真空，在周圍較低的壓力下，陶泥中的氣體就會跑出來。這樣處理后的陶泥，所含的氣體大為減少，使結構緊密。
陶土真空處理所要求的真空度越高越好，一般不得低于一680毫米汞柱，這樣真空脫氣就會徹底些。對氣最的要求則視真空容積大小和送進機構的速度而定，氣盤越大，生產率也就越高。
其它如在生產牙膏、肥皂等產品的工序中，也要進行真空脫氣處理。
真空脫氣廣泛應用于各個工業領域,目前最常用為電工制造業。隨著我國國民經濟的發 展,對電力的要求也日益增加。從1988年起,我國連續新增發電機容量1200萬kW,但電力尚缺口20%。電力部提出1998～2000年,年均增發電機組2000萬kW。據此推算,變壓器總需要量將由1993年1.34億KVA增至2.2億KVA。對于城網用變壓器,要采用環氧樹脂真空澆注干式變壓器和SF6氣體絕緣變壓器[1]。在電壓和電流互感器制造中也都采用環氧樹脂真空澆注方式來完成。對于開關行業采用的盆式絕緣子、各種絕緣支持臺、操作棒、滅弧筒、絕緣法蘭和密封端子板等關鍵零部件也都要在真空環境下使物料充分脫氣才能保證產品高可靠性要求。在電纜行業所用的電纜套管以及點焊機線圈等環氧樹脂絕緣件同樣要求在混料過程中物料必須充分抽除氣體,以保證良好的電絕緣性。在化維行業中人造纖維的生產過程中,為保證人造纖維在生產的最后階段即成絲階段不易產生斷裂而影響產品質量,一般要在真空脫氣裝置內對人造纖維的初始材料即粘膠進行充分脫除氣泡。在變送器制造中,為了能使所充液體體積不隨環境溫度變化而減小時漂和溫漂,因而需要在高真空狀態下凈化工作液體。鍋爐及供熱系統工作時,由于水中含有氧氣,將對鍋爐、換熱器、管路及閥門產生腐蝕作用,為了提高鍋爐等部件的壽命,在鍋爐加熱系統也廣泛應用真空除氧技術。
供暖及制冷水循環系統中不可避免地會存有一些空氣，其來源為系統補水和管網泄漏。這部分氣體在 系統中以三種形式存在：第一種形式，氣體以氣團的形式積聚于系統中的高點或局部高點，如管線拐角處，換熱器（散熱器、風機盤管）頂部等。第二種形式，氣體以游離氣泡形式隨系統中水循環運動。第三種形式，氣體溶解于水中，并隨水循環運動。上述三種氣體存在形式中第一、二種為游離性氣體，第三種為溶解性氣體，三者之間會不停相互轉化，但在無外界條件變化時，其各種形式的存在量會相對穩定。 水中存在的空氣會對供暖及制冷水循環系統帶來很多不利影響，積聚的氣體產生氣阻，造成系統阻力不均衡，系統循環不暢，產生噪音、氣蝕，這些問題會降低水泵的有效揚程和運行效率，降低設備及管網的使用壽命，換熱器表面附有的氣泡會降低其傳熱效率，系統氣阻造成系統調試困難，且在運行期間經常需要人工排氣。系統中的氧氣會造成系統的氧腐蝕。腐蝕導致系統使用壽命降低，直接影響整個系統的安全。 真空脫氣脫氧采用壓差脫氣原理，可適用于任何水系統。它的極強的脫氣能力可保證安全快捷地脫除系統內的游離性氣體和溶解性氣體，使得系統能夠安全可靠地運行。
真空脫氣脫氧機適用于各種供熱或制冷水循環系統，脫氣機工作時間和周期可根據需要調節，單臺適用系統容量最大可達150m3，對于大循環系統可多臺并聯使用。 真空脫氣脫氧機可大大縮短供熱或冷卻系統初次注水后的排氣時間，極有利于系統的初次調試運行。由于可在線脫除系統中的氣體，防止氣阻，因此保證系統正常運行期間穩定可靠。還可消除水泵氣蝕，降低系統運行噪音。由于脫除了水中的氧氣，將降低系統的氧腐蝕，延長設備使用壽命。此外換熱器表面上不會附有氣體氣泡，提高了傳熱效率。該設備系真空脫氣脫氧，不存在任何二次污染問題設備安裝簡便，全自動控制，運行安全可靠，易于維修保養。
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